羅茨真空泵是一種旋轉式容積真空泵。其結構形式是由羅茨鼓風機演變而來的，它的結構和工作原理與羅茨鼓風機相似。于 1944 年首先出現于德國，是為適應在 10 ～ 1000Pa 壓力范圍內具有大抽速的真空熔煉系統而作為機械增壓泵使用。

根據羅茨真空泵工作壓力范圍的不同，分為直排大氣的低真空羅茨真空泵；中真空羅茨真空泵 ( 機械增壓泵 ) 和高真空多級羅茨真空泵。國內用量最多的為中真空羅茨真空泵 ( 以下簡稱羅茨真空泵 ) 。

羅茨真空泵是泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的轉子，轉子間、轉子與泵殼內壁間有細小間隙而互不接觸。轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩。泵腔內無需用油密封和潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，實現較高轉速，同時可減少油蒸氣對真空系統的污染；泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感。

羅茨真空泵的特點是：啟動快，耗功少，運轉維護費用低，抽速大、效率高，在100-1帕壓力范圍內有較大抽氣速率，能迅速排除突然放出的氣體，轉速可高達3450~4100轉/分；抽氣速率為30~10000升/秒。這個壓力范圍恰好處于油封式機械真空泵與擴散泵之間。因此，它常被串聯在擴散泵與油封式機械真空泵之間，用來提高中間壓力范圍的抽氣量，即我們常說的機械增壓泵。

羅茨真空泵不可以單獨抽氣，前級需配油封、水環等可直排大氣。也就是說，在實際應用中，羅茨真空泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外，還取決于前級泵的極限真空。很多客戶使用被串聯的羅茨真空泵在前級泵剛啟動抽大氣時設置不啟動羅茨，此時啟用羅茨效用不明顯，沒有突顯羅茨真空泵的優勢。故一般電控上設置羅茨真空泵在大氣壓下不啟動，當前級泵抽氣到一定限度的真空時，羅茨自動啟動。羅茨真空泵作為助力泵的優勢會凸顯出來，抽速上給予前級泵有力的支持。

羅茨真空泵作為前級泵的助力泵，選型時應遵循羅茨抽速比前級泵抽速至少快一倍但不超過10倍的范圍選擇。抽速比前級泵同級或更小，羅茨泵就顯得“沒有力量”，沒有真正派上用場；抽速比前級泵快10倍或以上，泵的負載相對增加，對泵的磨損大，沒能實現羅茨節能的效果，也是不可取的。使用羅茨真空泵盡量控制羅茨泵的流量和揚程在標牌上注明的范圍內，以保證羅茨泵在最高效率點運轉，獲得最大的節能效果。